1966-1970
LOCOS: GRENSVERLEGGEND IN FABRICAGE HALFGELEIDERS
^ top
ELSE KOOI EN DE HALFGELEIDERS
Prof. dr. Else Kooi deed in de jaren zestig een belangrijke ontdekking, waarmee de fabricage van halfgeleiders (chips) veel efficiënter werd.
De volgende bijdrage is afkomstig van Philips Company Archives
Else Kooi, 1990
‘Puur toeval en foute gedachten’ lagen aan zijn vinding ten grondslag, zo vertelde oud-Philipsman Else Kooi in 1995 aan het tijdschrift van de Universiteit Twente, nadat een prijs voor stimulering van microelektronica in Nederland naar hem vernoemd was.
LOCOS
Decennia na zijn verrassende ontdekking op het Philips NatLab (als toevallige vondst bij het uitproberen van een ander procedé) van wat nu LOCOS heet (Localized Oxidation of Silicon, een manier om heel fijne structuren van geleidend materiaal in de chips te kunnen maken) is het octrooi nog steeds actueel, verschijnen er nog hele pakken wetenschappelijke publicaties over en wordt het octrooi toegepast in een wereldwijd geëxplodeerde chipsindustrie.
Het LOCOS-octrooi droeg bij aan de positie van Philips in de halfgeleiderindustrie. LOCOS was als procedé minder geschikt voor de submicrontechnologie – chip met structuren van minder dan een duizendste millimeter, die in de jaren tachtig steeds meer werd toegepast. Het devies van Kooi aan Europa om in navolging van Japan en de VS een stuk van de cake te pakken in de chipstechnologie, bleek zeker in de regio Eindhoven niet aan dovemansoren gericht. Philips-spin-off ASML in Veldhoven groeide uit tot de absolute marktleider op het gebied van chipmachines, Philips-dochter NXP is een hoofdrolspeler in de productie van halfgeleiders.
Decennia na zijn verrassende ontdekking op het Philips NatLab (als toevallige vondst bij het uitproberen van een ander procedé) van wat nu LOCOS heet (Localized Oxidation of Silicon, een manier om heel fijne structuren van geleidend materiaal in de chips te kunnen maken) is het octrooi nog steeds actueel, verschijnen er nog hele pakken wetenschappelijke publicaties over en wordt het octrooi toegepast in een wereldwijd geëxplodeerde chipsindustrie.
Het LOCOS-octrooi droeg bij aan de positie van Philips in de halfgeleiderindustrie. LOCOS was als procedé minder geschikt voor de submicrontechnologie – chip met structuren van minder dan een duizendste millimeter, die in de jaren tachtig steeds meer werd toegepast. Het devies van Kooi aan Europa om in navolging van Japan en de VS een stuk van de cake te pakken in de chipstechnologie, bleek zeker in de regio Eindhoven niet aan dovemansoren gericht. Philips-spin-off ASML in Veldhoven groeide uit tot de absolute marktleider op het gebied van chipmachines, Philips-dochter NXP is een hoofdrolspeler in de productie van halfgeleiders.
De volgende bijdrage is afkomstig van Philips Company Archives
Geïntegreerde schakelingen, 1967
